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J-GLOBAL ID：200903094049384777

電子部品材料の品質管理方法

Inventor：
竹中 みゆき

About 竹中 みゆき

, 
矢吹 元央

About 矢吹 元央

, 
立部 哲也

About 立部 哲也


Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

About 株式会社東芝


Agent (8)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003058748
Publication number (International publication number)：2004271229
Application date： Mar. 05, 2003
Publication date： Sep. 30, 2004
Summary：
【課題】電子部品材料中に混入する微量な金属元素について、より正確で迅速な品質管理方法を提供する。【解決手段】電子部品材料から採取した試料に対し、質量分析装置を用いて特定金属元素の同位体存在比の検出を行う分析方法を用いて電子部品材料の品質管理を行う。また、電子部品の製造工程において、使用する電子部品材料から、定期的あるいは不定期に試料を採取し、各試料に対し、質量分析装置を用いて特定金属元素の同位体存在比を検出し、その同位体存在比の変動をモニタリングする。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
電子部品材料中の含有金属元素を検査するため、質量分析装置を用いて特定金属元素の同位体存在比を検出する分析方法を用いることを特徴とする電子部品材料の品質管理方法。
IPC (4)：
G01N27/62 ,  G01N1/28 ,  G01N31/00 ,  H01L21/02
FI (8)：
G01N27/62 D ,  G01N27/62 F ,  G01N27/62 G ,  G01N27/62 V ,  G01N31/00 T ,  G01N31/00 Y ,  H01L21/02 Z ,  G01N1/28 X
F-Term (22)：
2G042AA01 ,  2G042BA20 ,  2G042BC02 ,  2G042BC11 ,  2G042BC13 ,  2G042BC14 ,  2G042CA10 ,  2G042CB06 ,  2G042EA01 ,  2G042FA01 ,  2G042FA04 ,  2G042FB02 ,  2G042GA04 ,  2G042HA07 ,  2G052AA00 ,  2G052AB01 ,  2G052AB22 ,  2G052AD32 ,  2G052AD46 ,  2G052FD09 ,  2G052GA24 ,  2G052JA08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (1)

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