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J-GLOBAL ID：200903094094279593

露光方法

Inventor： 片岡 義治 ,  川島 春名 ,  山田 雄一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994226426
Publication number (International publication number)：1996064518
Application date： Sep. 21, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 被露光領域がアライメント位置また露光位置に位置する時に一部のフォーカスセンサーが検出不能または検出誤差が大きくなる場合でも精度の良いアライメントもしくは良好な転写が可能となる露光方法を提供する。【構成】 投影露光装置に使われる位置合わせ装置で、位置合わせ用マーク位置検出光学系によってマークの位置を検出する際、前記マーク検出光学系の検出域と面位置検出装置の複数の検出域との位置関係に基づいて、前記複数の面位置検出装置を実行させ得られた複数の前記第2物体の面位置情報を処理して、前記マークと前記マーク位置検出光学系の焦点面とのずれを決定し、該ずれに基づいて前記駆動手段を実行させる。

Claim (excerpt)：

第1物体上のパターンを第2物体上に投影露光する投影光学系と、前記投影光学系に対して予め決められた位置に検出域を有し前記第2物体上のマークの位置を検出するマーク位置検出光学系と、前記投影光学系に対して予め決められた位置で互いに異なる位置に検出域を有し前記第2物体の面位置を検出する複数の面位置検出装置と、前記第2物体を前記投影光学系の光軸方向に動かす駆動手段とを備えた露光装置の露光方法において、前記マーク位置検出光学系によって前記マークの位置を検出する際、前記マーク位置検出光学系の検出域と前記面位置検出装置の複数の検出域との位置関係に基づいて、前記複数の面位置検出装置を実行させ得られた複数の前記第2物体の面位置情報を処理して、前記マークと前記マーク位置検出光学系の焦点面とのずれを決定し、該ずれに基づいて前記駆動手段を実行させることを特徴とする露光方法。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/28 ,  G03B 13/36 ,  G03F 9/00

FI (4)：

H01L 21/30 526 B ,  G02B 7/11 M ,  G03B 3/00 A ,  H01L 21/30 525 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-191766   Applicant：株式会社ニコン
• 特開昭62-150722
  
• 投影露光方法及び投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-134303   Applicant：ソニー株式会社