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J-GLOBAL ID：200903094320953731
多数の基準面を用いた形状計測方法および形状計測装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (6)：
杉村 憲司
, 杉村 興作
, 来間 清志
, 藤谷 史朗
, 澤田 達也
, 藤原 英治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007127229
Publication number (International publication number)：2008281491
Application date： May. 11, 2007
Publication date： Nov. 20, 2008
Summary：
【課題】多数の基準面を格子の投影に利用して、輝度分布が余弦波状でない格子や不等間隔格子でも精度良く形状計測を行い得る形状計測方法および形状計測装置を提供する。【解決手段】本発明の形状計測装置は、基準面12を含む基準平板11と、基準平板11を法線方向に移動させるステージ13と、平行移動の各位置で格子パターンを投影するプロジェクタ14と、各位置で基準面12に形成される格子を撮影した第1撮影画像と、各位置で基準面12の投影格子を撮影した第2撮影画像と、試料物体17に投影した格子を撮影した第3撮影画像を得るカメラ15と、第1撮影画像の格子および第2撮影画像の投影格子の解析をそれぞれ画素毎に行って、基準平板11の移動量と格子の2次元座標とから成る空間座標と投影格子の位相θとを対応付けたテーブルを形成し、該テーブルと前記第3撮影画像とに基づいて試料物体17の空間座標を求める解析装置16とを備える。【選択図】図10
Claim (excerpt)：
2次元パターンが形成される基準面を含む基準平板を該基準平板の法線方向に微小量ずつ平行移動させる第1工程と、
前記平行移動の各位置において、前記基準面にそれぞれ形成される2次元パターンを撮影して第1撮影画像を得る第2工程と、
前記平行移動の各位置において、前記基準面に投影した、空間を分割して数値化できるパターンを撮影して第2撮影画像を得る第3工程と、
前記第1撮影画像の前記2次元パターンおよび前記第2撮影画像の前記空間を分割して数値化できるパターンの解析をそれぞれ画素毎に行うことにより、前記基準平板の移動量と前記2次元パターンの2次元座標とから成る空間座標と前記空間を分割して数値化できるパターンの位相とを1対1で対応付けたテーブルを形成する第4工程と、
試料物体に投影した、前記空間を分割して数値化できるパターンを撮影して第3撮影画像を得る第5工程と、
前記テーブルと前記第3撮影画像とに基づいて当該試料物体の空間座標を求める第6工程と、を行うことを特徴とする多数の基準面を用いた形状計測方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (20)：
2F065AA04
, 2F065AA53
, 2F065DD06
, 2F065EE00
, 2F065FF06
, 2F065FF42
, 2F065FF67
, 2F065HH06
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL41
, 2F065LL49
, 2F065PP12
, 2F065PP23
, 2F065QQ00
, 2F065QQ16
, 2F065QQ17
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ41
Cited by applicant (2)
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特許第2913021号公報
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特許第3265476号公報
Cited by examiner (7)
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形状計測方法及びその装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-070269
Applicant：和歌山大学長
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3次元計測方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-221186
Applicant：シャープ株式会社
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特開平4-278406
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Article cited by the Patent：
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