放電プラズマ発生用交流高圧電源装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松浦憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996054315
Publication number (International publication number)：1997247945
Application date： Mar. 12, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】リアクタに周波数の高い交流電圧を印加することにより発生する大きな無効電力を削減し、電源装置の規模縮小を図る放電プラズマ発生用交流高圧電源装置を提供する。【解決手段】放電プラズマ発生用交流高圧電源装置は商用の交流電源10から整流器11と平滑用コンデンサ12により直流電圧を生成し、高周波インバータ13により所望の周波数の交流電圧に変換する回路と、負荷のリアクタ30とコイルからなるインダクタンス20が直列に接続された回路とからなる。リアクタ30とインダクタンス20の直列共振回路に共振周波数の交流電圧を印加すると、この直列共振回路には無効電力が供給されず、また、リアクタ30には高周波インバータ13の出力電圧のQ(Q値)倍の高電圧が印加される。これにより、リアクタ30の電源装置の容量は小さくてよく、電源装置の規模縮小が図れる。

Claim (excerpt)：

リアクタの電極間に交流電圧を印加して、前記リアクタ内に放電プラズマを発生させる放電プラズマ発生用交流高電圧電源装置において、前記リアクタに誘導性のリアクタンス成分を有する回路素子を接続し、前記リアクタの容量性のリアクタンス成分を前記回路素子の誘導性のリアクタンス成分によって相殺するようにしたことを特徴とする放電プラズマ発生用交流高圧電源装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

整合器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-093163 Applicant：凸版印刷株式会社
高周波プラズマ用インピーダンス整合装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-139505 Applicant：株式会社アドテック
発電機
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-076365 Applicant：本田技研工業株式会社

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