カーボンナノチューブ、その製造方法、カーボンナノチューブデバイスおよび電気二重層キャパシタ

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：福島祥人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003384198
Publication number (International publication number)：2005145743
Application date： Nov. 13, 2003
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：

【課題】簡単なプロセスで高密度で均一に形成することができるとともに量産化および大面積化が可能なカーボンナノチューブ、その製造方法、それを用いたカーボンナノチューブデバイスおよび電気二重層キャパシタを提供することである。【解決手段】高融点の導電性材料からなる導電性基板1上にAlを主成分とするAl層2および触媒金属からなる触媒金属層3を形成する。導電性材料としては1660°C以上の融点を有する高融点金属または炭素を用いることができる。基板100を熱CVD装置の容器内にセットし、真空中でヒータにより加熱し、所定時間保持することにより導電性基板1上に触媒微粒子5を高密度で均一に分散するように形成する。その後、基板100の温度を保持した状態で炭素を含むガスを容器内に導入し、所定時間保持することにより、炭素を含むガスを熱分解し、触媒微粒子5上にカーボンナノチューブ6を形成する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

少なくとも一面側に導電性材料からなる導電層を含む基板を用い、前記基板の前記導電層上にアルミニウムおよびカーボンナノチューブの成長を促進する作用を有する触媒金属を供給する工程と、前記基板に熱処理を行うことにより前記基板上に触媒金属を含む微粒子を形成する工程と、前記基板上に形成された微粒子に炭素を含むガスを作用させることにより前記基板上にカーボンナノチューブを成長させる工程とを備えたことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。

IPC (4)：

C01B31/02 , B82B1/00 , H01G9/016 , H01G9/058

FI (4)：

C01B31/02 101F , B82B1/00 , H01G9/00 301A , H01G9/00 301F

F-Term (10)：

4G146AA11 , 4G146AB04 , 4G146AD23 , 4G146BA12 , 4G146BC09 , 4G146BC27 , 4G146BC33B , 4G146BC37B , 4G146BC38B , 4G146DA16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

グラファイトファイバーの作成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-210161 Applicant：新技術事業団, 菊地理恵, 大木芳正
カーボンナノチューブの合成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-175498 Applicant：李鉄真, 株式会社日進ナノテック

Cited by examiner (5)

配向性カーボンナノチューブ膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-372026 Applicant：三菱瓦斯化学株式会社
カーボンファイバー、カーボンファイバーを有する電子放出素子および画像表示装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-274231 Applicant：キヤノン株式会社
電子反射抑制材及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-195775 Applicant：株式会社三重ティーエルオー

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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