Pat

J-GLOBAL ID：200903094570795120

X線顕微鏡

Inventor： 池滝 慶記
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997329043
Publication number (International publication number)：1999160500
Application date： Nov. 28, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】 紫外光を容易に導入することができ、高精度な観察試料の顕微像を得ることのできる、製造も容易な、新しい紫外光アシストのX線顕微鏡を提供する。【解決手段】X線および紫外光を観察試料に照射して観察試料の顕微像を得るX線顕微鏡において、ピンホール(21)を有するピンホール付ミラ(2)ーによって、X線および紫外光が同一光学軸上に通されて、観察試料の同一領域に照射される。

Claim (excerpt)：

X線および紫外光を観察試料に照射して観察試料の顕微像を得るX線顕微鏡において、ピンホールを有するピンホール付ミラーによって、X線および紫外光が同一光学軸上に通されて、観察試料の同一領域に照射されることを特徴とするX線顕微鏡。

IPC (2)：

G21K 7/00 ,  G01N 23/04

FI (2)：

G21K 7/00 ,  G01N 23/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• X線顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-347083   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• X線顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-023753   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 軟X線顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-304131   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平3-207000
  
• X線フィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-113911   Applicant：株式会社ニコン
• X線検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-199708   Applicant：株式会社ニコン