開口パターン付き薄板の研磨方法及び磁気研磨装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉村俊一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006084654
Publication number (International publication number)：2007253313
Application date： Mar. 27, 2006
Publication date： Oct. 04, 2007
Summary：

【課題】半田ペースト用マスクのような開口パターンが形成された被加工物である薄板を研磨するにおいて、表面および開口パターン内部の研磨を一工程にて行うことのできる方法を提供する。【解決手段】開口パターンが形成された被加工物である薄板1を薄板を挟んで、1対の磁石2を互いの磁極が対極となるように離間配置し、この磁石間に磁性研磨材3を存在させ、磁石および/または薄板を、そのほぼ面内において、回転および/または振動させることにより研磨を行う。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

開口パターンが形成された被加工物である薄板を研磨する方法であって、前記薄板の表面及び開口パターン内部を磁気研磨により研磨することを特徴とする開口パターン付き薄板の研磨方法。

IPC (3)：

B24B 37/00 , B24B 29/00 , B24B 1/04

FI (3)：

B24B37/00 D , B24B29/00 N , B24B1/04 D

F-Term (12)：

3C049AA06 , 3C049AA07 , 3C049AA11 , 3C049AA16 , 3C049CB03 , 3C058AA06 , 3C058AA07 , 3C058AA11 , 3C058AA16 , 3C058CB03 , 3C058DA10 , 3C058DA11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

メタルマスク及びレーザ加工法によるメタルマスクの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-071561 Applicant：太陽化学工業株式会社

Cited by examiner (5)

磁気研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-135279 Applicant：松下電工株式会社, 理化学研究所
特開昭63-260759
ハードディスクドライブ用ボイスコイルモーターのヨーク部品のバリ取り方法及びボイスコイルモーター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-254146 Applicant：信越化学工業株式会社

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