インクジェットヘッド及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高野明近
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998014258
Publication number (International publication number)：1999207957
Application date： Jan. 27, 1998
Publication date： Aug. 03, 1999
Summary：

【要約】【課題】インクジェットヘッドをシリコン基体を用いて集積化し、スクリーン印刷の解像限界を克服する。併せて、良好な特性の圧電層を作製する材料・方法を提供すること。【解決手段】インクジェットヘッドのSi基板上に中間層、第1の電極層、電気-機械変換材料層(圧電層)をその順に積層しかつ、その上に各層間の絶縁を図るための層間絶縁層を施し、前記層間絶縁層のコンタクト孔を介して第2の電極を前記圧電層に積層する。また、前記圧電層の材料及び作製方法を適切なものとする。

Claim (excerpt)：

液滴を噴射するノズルと、供給タンクから前記ノズルまで液体を導く流路と、各流路に設けられ電気信号が与えられるとそれに応じて流路に設けた液室の容積を変化させる電気-機械変換素子部とを備えた、前記電気信号に応じて前記ノズルから液滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、前記電気-機械変換素子部の電気-機械変換素子は第1の電極層、該第1の電極層上に積層された電気-機械変換材料層及び該電気-機械変換材料層に積層された第2の電極から成り、該第2の電極が層間絶縁層のコンタクト孔を介して前記電気-機械変換材料層に接続され積層されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (4)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09

FI (3)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

インクジェットヘッド及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-027193 Applicant：株式会社リコー
インクジェットヘッドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-003005 Applicant：富士通株式会社
誘電体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-152371 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Show all

Return to Previous Page