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J-GLOBAL ID：200903094769956549

リソグラフィシステムにおけるユーティリティ輸送システム

Inventor：
アルトン・ヒュー・フィリップス

About アルトン・ヒュー・フィリップス


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2006543953
Publication number (International publication number)：2007514319
Application date： Dec. 06, 2004
Publication date： May. 31, 2007
Summary：
リソグラフィシステムにおいて、ステージに影響を与える物理的な外乱を最小化しながら、レチクルステージ又はウエハステージにあるいはレチクルステージ又はウエハステージからユーティリティを輸送する技術が記述される。これらの技術は、ステージと物理的に接触することなく、ステージに又はステージからユーティリティを輸送することを含む。また、ユーティリティは、ステージが静止位置にある間に、ステージと物理的に接触することによって輸送される。ステージに又はステージからユーティリティを輸送することに加えて、処理装置、バッファ(記憶媒体)、電気構成要素、及び機械構成要素をステージ内に配置して、輸送されたユーティリティを使用又は制御することができる。
Claim (excerpt)：
照明源と; 光学系と; ウエハ又はレチクルを支持するのに適したステージと; 前記ステージを支持するフレームと; 前記ステージの内部又はその表面に配置され、前記ステージと前記フレームとの間でユーティリティを輸送するステージユーティリティ輸送手段と; 前記フレームの内部又はその表面に配置され、前記ステージと前記フレームとの間でユーティリティを輸送するフレームユーティリティ輸送手段と、を備え、 前記ステージと前記フレームとの間でユーティリティが輸送される間、前記ステージ及び前記フレームを、互いに物理的に離れたままにできる、リソグラフィシステム。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/683
FI (4)：
H01L21/30 515F ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515G ,  H01L21/68 N
F-Term (9)：
5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA55 ,  5F031HA56 ,  5F031PA26 ,  5F031PA30 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (1)

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