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J-GLOBAL ID：200903094804846778

位置決め装置

Inventor：
木村 篤史

About 木村 篤史


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (2)： 伊東 哲也 ,  齋藤 和則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004048921
Publication number (International publication number)：2005243751
Application date： Feb. 25, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：
【課題】 駆動手段による駆動力を効率よく伝達してステージの加減速に遅れが生じないようにするとともに、ステージが長大になるのを回避する。【解決手段】 微動固定プレート9に連結され、該微動固定プレートをベース定盤1に対して移動させる第1駆動手段の可動磁石7およびリニアモータ固定子8と、微動固定プレート9と天板11に連結され、該天板を移動させる第2駆動手段の微動リニアモータ固定子および微動リニアモータ可動子と、微動固定プレート9と天板11との間にあって、該第1駆動手段の駆動力に応じて天板11に加速力を伝達する電磁継手のE字型電磁石12および磁性体板14とを備え、該電磁継手は、該天板の移動方向の前後側面に1対配置される。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
第1テーブルに連結され、該第1テーブルを基礎テーブルに対して移動させる第1駆動手段と、 該第1テーブルと第2テーブルに連結され、該第2テーブルを移動させる第2駆動手段と、 該第1テーブルと該第2テーブルとの間にあって、該第1駆動手段の駆動力に応じて該第2テーブルに加速力を伝達する電磁継手とを備える位置決め装置において、 該電磁継手は、該第2テーブルの移動方向の前後側面に少なくとも1対配置されることを特徴とする位置決め装置。
IPC (3)：
H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68
FI (3)：
H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K
F-Term (12)：
5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (5)
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