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J-GLOBAL ID：200903042494771489

位置決め装置及びその製造方法

Inventor：
久保 博義

About 久保 博義


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001364509
Publication number (International publication number)：2003163257
Application date： Nov. 29, 2001
Publication date： Jun. 06, 2003
Summary：
【要約】【課題】 制御特性に優れ、高速・高精度の位置決めを実現する。【解決手段】 被移動物としてのウエハWを保持するための第一の板であるチャック1と、該チャック1を保持する第二の板としての中空天板2とを有し、該中空天板2の材質がセラミック材からなり、該中空天板2の構造が同一種材質で形成され中空内部H2を有する一体中空構造になっていて、中空内部H2には該中空天板2のねじれモードに対する固有振動数を高めるリブ構造を有し、中空天板2と外気を導通するための導通穴H2aがあり、前記リブ構造は、ウエハWのXY移動方向に沿った断面四角形のリブと該断面四角形のリブに対し角度をなして接合された断面ひし形のリブとを交互に入れる構成である。
Claim (excerpt)：
被移動物を移動させるための位置決め装置において、被移動物を保持するための第一の板と、該第一の板を保持する第二の板とを有し、該第二の板の材質がセラミックからなる材料からなり、該第二の板の構造が同一種材質で形成され中空内部を有する中空構造になっていて、前記中空内部には該第二の板のねじれモードに対する固有振動数を高めるリブ構造を有し、前記中空内部と外気を導通するための穴があることを特徴とする位置決め装置。
IPC (3)：
H01L 21/68 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027
FI (3)：
H01L 21/68 K ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A
F-Term (44)：
2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB10 ,  2F078CB12 ,  2F078CB13 ,  2F078CC11 ,  2F078CC15 ,  2F078CC19 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA33 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031LA00 ,  5F031LA03 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031LA18 ,  5F031MA27 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC08 ,  5F046CC18 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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