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J-GLOBAL ID：200903094941244505

天井走行搬送装置

Inventor：
村田 正直

About 村田 正直


Applicant, Patent owner：
神鋼電機株式会社

About 神鋼電機株式会社


Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000073163
Publication number (International publication number)：2001261284
Application date： Mar. 15, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 搬送物を半導体製造装置のロードポートへ吊り下げる際に、搬送物が人や不用意に置かれた物などの障害物と接触する前にこれを検知して避ける対策を、安価かつ確実に講じることができる天井走行搬送装置の提供を課題とする。【解決手段】 ホイスト付台車3が、当台車3と各製造装置7のロードポート8間との昇降経路を光探索し障害物21の有無を検知する各障害物検知センサ22を備え、これら障害物検知センサ22は、前記昇降経路の周囲を複数面で監視する構成を採用した。
Claim (excerpt)：
天井に設置された軌道と、該軌道に沿って走行するホイスト付台車とを備えた天井走行搬送装置において、前記ホイスト付台車は、当台車と各製造装置のロードポート間との昇降経路を光探索し障害物の有無を検知する障害物検知センサを備え、前記障害物検知センサは、前記昇降経路の周囲を複数面で監視することを特徴とする天井走行搬送装置。
IPC (5)：
B66C 15/00 ,  B65G 1/00 511 ,  B65G 1/04 551 ,  B66C 11/06 ,  H01L 21/68
FI (5)：
B66C 15/00 E ,  B65G 1/00 511 F ,  B65G 1/04 551 Z ,  B66C 11/06 ,  H01L 21/68 A
F-Term (25)：
3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022LL12 ,  3F022NN57 ,  3F022QQ11 ,  3F203AA10 ,  3F203BA10 ,  3F203CA02 ,  3F203CC01 ,  3F203DA08 ,  3F204CA05 ,  3F204DA07 ,  3F204FC02 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA12 ,  5F031GA36 ,  5F031GA58 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA17 ,  5F031JA31 ,  5F031NA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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