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J-GLOBAL ID：200903095032567530

粒度分布測定装置のオートアライメント機構

Inventor：
伊東 俊哉

About 伊東 俊哉

, 
右近 寿一郎

About 右近 寿一郎


Applicant, Patent owner：
株式会社堀場製作所

About 株式会社堀場製作所


Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997249870
Publication number (International publication number)：1999083722
Application date： Aug. 30, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】光検出器を移動させることなく光軸の自動調整をおこなうことのできる構成が簡易でコンパクトな粒度分布測定装置のオートアライメント機構を提供する。【解決手段】 散乱式の粒度分布測定装置のオートアライメント機構12にあって、光検出器9の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設けると共に、光源1と光検出器9との間に光透過板3,5を設け、その光透過板3,5を光軸11と直交する軸まわりに回動させるためのアクチュエータ4,6を設ける一方、予め設定・記憶させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に基づいて、光軸11を調整するために光透過板3,5を回動させるための制御信号をアクチュエータ4,6に送出する光軸調整処理部12を設けている。
Claim (excerpt)：
光源と、平行光束を発生させるための第1レンズ系と、平行光束を集光させるための第2レンズ系と、光検出器とを具備し、試料に光を照射させて発生した散乱光を前記光検出器で検出することにより得られる散乱光強度パターンに基づいて試料の粒度分布を測定するようにした散乱式の粒度分布測定装置のオートアライメント機構であって、前記光検出器の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設けると共に、前記光源と光検出器との間に光透過板を設け、その光透過板を光軸と直交する軸まわりに回動させるためのアクチュエータを設ける一方、予め設定・記憶させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に基づいて、前記光軸を調整するために前記光透過板を回動させるための制御信号を前記アクチュエータに送出する光軸調整処理部を設けてなることを特徴とする粒度分布測定装置のオートアライメント機構。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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