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J-GLOBAL ID：200903095073149262

高速回転を利用した組成傾斜装置、方法及びその方法で得られた凝縮系薄膜物質

Inventor：
西山 貴史

About 西山 貴史

, 
永山 邦仁

About 永山 邦仁


Applicant, Patent owner：
独立行政法人科学技術振興機構

About 独立行政法人科学技術振興機構


Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004128257
Publication number (International publication number)：2005305358
Application date： Apr. 23, 2004
Publication date： Nov. 04, 2005
Summary：
【課題】5万G程度の比較的低い加速度場での拡散処理が可能な小型で、低いコストの高速回転を利用した傾斜機能性薄膜作製装置、方法及びその方法で得られた凝縮系薄膜物質を提供する。【解決手段】二元素以上からなる凝縮系薄膜物質の組成を傾斜化する組成傾斜方法であって、基板上に堆積させた二元素以上からなる凝縮系薄膜物質をセットする円板と、この円板を収容する超高真空チャンバーと、前記円板を超高真空回転させるための回転駆動手段とを備え、常温〜2000°Cの温度の下で、5万G以上20万G未満の加速度場を前記円板に与えて、前記二元素以上からなる凝縮系薄膜物質の各原子または各分子に作用する遠心力に差を与え、原子・分子レベルの傾斜構造を生成させる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
二元素以上からなる凝縮系薄膜物質の組成を傾斜化する組成傾斜方法において、 (a)堆積させた二元素以上からなる凝縮系薄膜物質を円板上にセットし、 (b)該円板を超高真空チャンバー内に配置し、 (c)前記円板を超高真空状態で回転可能にし、 (d)常温〜2000°Cの温度の下で、5万G以上20万G未満の加速度場を前記円板に与えて、前記二元素以上からなる凝縮系薄膜物質の各原子または各分子に作用する遠心力に差を与え、原子・分子レベルの傾斜構造を生成することを特徴とする高速回転による組成傾斜方法。
IPC (5)：
B04B5/00 ,  B01J3/00 ,  B01J19/00 ,  B22D27/08 ,  C23C14/58
FI (5)：
B04B5/00 Z ,  B01J3/00 J ,  B01J19/00 K ,  B22D27/08 ,  C23C14/58 Z
F-Term (30)：
4D057AA04 ,  4D057AA05 ,  4D057AA07 ,  4D057AA19 ,  4D057AB03 ,  4D057AC01 ,  4D057AC05 ,  4D057AD01 ,  4D057AE11 ,  4D057BA04 ,  4D057BA21 ,  4D057BB03 ,  4G075AA24 ,  4G075BB03 ,  4G075BB10 ,  4G075BD08 ,  4G075CA02 ,  4G075CA36 ,  4G075CA65 ,  4G075ED01 ,  4G075FB02 ,  4G075FC13 ,  4K029AA06 ,  4K029BA21 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB04 ,  4K029DB20 ,  4K029DC04 ,  4K029GA00
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (8)
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