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J-GLOBAL ID：200903095133689970

微小物体移動方法及びそれを用いた観察方法並びに観察装置

Inventor：
新 澤 雄 彦

About 新 澤 雄 彦


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002038005
Publication number (International publication number)：2003242921
Application date： Feb. 15, 2002
Publication date： Aug. 29, 2003
Summary：
【要約】【課題】 試料の被観察面上の複数の微小物体を連続的に除去できるようにする。【解決手段】 試料室2の上端部には電子光学鏡筒3が配置され、駆動ステージ4上に載置された試料Sの被観察面S1に電子ビームEBが照射される。試料Sの被観察面S1の上方には、摘出用探針11と剥離用探針10とが配置されている。被観察面S1に複数の微小物体が付着している場合、正電位が印加された摘出用探針11とのクーロン引力、及び負電位が印加された剥離用探針10とのクーロン斥力により上記複数の微小物体を連続的に当該摘出用探針11に付着させて取り出す。複数の微小物体が付着した摘出用探針11は、正電位が印加された状態で別の場所に移動され、移動後に負電位が切り替わって印加されることにより、当該複数の微小物体がまとめて落下する。
Claim (excerpt)：
試料上の第1の微小物体に電子ビームを照射して前記第1の微小物体を負に帯電させる工程と、第1の探針を前記第1の微小物体に接近させる工程と、第2の探針を前記第1の微小物体に接近させる工程と、前記第1の探針に正電位を印加する工程と、前記第2の探針に負電位を印加する工程と、前記第1の探針とのクーロン引力及び前記第2の探針とのクーロン斥力により、前記第1の微小物体を動かして前記第1の探針に付着させる工程とを有する微小物体移動方法。
IPC (4)：
H01J 37/20 ,  B25J 7/00 ,  B82B 3/00 ,  H01J 37/30
FI (4)：
H01J 37/20 G ,  B25J 7/00 ,  B82B 3/00 ,  H01J 37/30 Z
F-Term (8)：
3C007AS09 ,  3C007BS30 ,  3C007XG05 ,  5C001AA08 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C034AA09 ,  5C034AB04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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