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J-GLOBAL ID：200903095345900990

駆動装置

Inventor：
後藤 禎

About 後藤 禎

, 
佐治 伸仁

About 佐治 伸仁


Applicant, Patent owner：
日本精工株式会社

About 日本精工株式会社


Agent (2)： 田村 敬二郎 ,  小林 研一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004372791
Publication number (International publication number)：2006179751
Application date： Dec. 24, 2004
Publication date： Jul. 06, 2006
Summary：
【課題】 大気環境と、大気とは異なる環境とを隔てるハウジングの剛性に関わらず、高精度な移動を実現できる駆動装置を提供する。 【解決手段】 モータ9を真空チャンバCの外側即ち大気環境側に取り付けることによって、真空チャンバCの内部においてアウトガスが発生することを抑制でき、更に、真空チャンバCを間に介在させることなく、フレーム1にモータ9を取り付けているので、大気圧との差圧に基づいて真空チャンバCが変形した場合でも、その影響を回避して高精度の位置決めを実現できる。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
大気環境と、大気とは異なる気圧に維持された環境とを隔てるハウジングに取り付けられる駆動装置において、 前記ハウジングの内面に取り付けられたフレームと、 前記フレームに対して移動可能に配置されたテーブルと、 前記ハウジングを間に介在させることなく、大気環境側において前記フレームに取り付けられたモータと、 前記モータの回転軸の回転運動を、前記テーブルの軸線方向運動に変換する伝達手段と、を有することを特徴とする駆動装置。
IPC (5)：
H01L 21/68 ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265
FI (5)：
H01L21/68 K ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 D ,  H01J37/317 B ,  H01L21/265 603C
F-Term (14)：
5C001AA03 ,  5C001CC07 ,  5C034CC10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA50 ,  5F031HA53 ,  5F031HA58 ,  5F031KA10 ,  5F031LA11 ,  5F031LA12 ,  5F031MA31 ,  5F031NA05 ,  5F031PA26 ,  5F031PA30
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)
  • 特開昭63-169739
  • 露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-158504   Applicant：キヤノン株式会社
  • 特開昭63-169739

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