オゾン水処理装置及び洗浄処理装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000207221
Publication number (International publication number)：2002018432
Application date： Jul. 07, 2000
Publication date： Jan. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】この発明はオゾン水からオゾンガスを効率よく分解できるようにしたオゾン水処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】オゾン水に含まれるオゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、オゾン水を流すオゾン水管17と、このオゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外線ランプ18とを具備し、上記紫外線ランプは、200nm以上の波長の紫外線を発光する構成となっている。

Claim (excerpt)：

オゾン水に含まれるオゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、オゾン水を流すオゾン水管と、このオゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外線ランプとを具備し、上記紫外線ランプは、200nm以上の波長の紫外線を発光する構成であることを特徴とするオゾン水処理装置。

IPC (4)：

C02F 1/32 , B01F 1/00 , B08B 3/08 , C01B 13/10

FI (4)：

C02F 1/32 , B01F 1/00 A , B08B 3/08 B , C01B 13/10 D

F-Term (16)：

3B201AA02 , 3B201AB34 , 3B201BB03 , 3B201BB22 , 3B201BB89 , 3B201BB93 , 3B201BB98 , 3B201CD22 , 4D037AA13 , 4D037AB11 , 4D037BA18 , 4G035AA01 , 4G035AE13 , 4G042CA03 , 4G042CC23 , 4G042CE04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

希ガス放電灯およびこれを用いた表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-214263 Applicant：東芝ライテック株式会社
半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-168720 Applicant：新日本無線株式会社
ガス溶解洗浄水の通水配管
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-325627 Applicant：栗田工業株式会社

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