表面欠陥検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山川雅男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995182541
Publication number (International publication number)：1997033446
Application date： Jul. 19, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：

【要約】【目的】表面欠陥検査装置に関し、表面欠陥検出精度を高めることを目的とする。【構成】対象物1の表面に光を照射するための投光装置2と、対象物の表面で正反射された光の量を検出する第1の受光装置3と、内面がミラー構造で、対象物1の表面で乱反射された光の散逸を防止する遮光装置4と、対象物1の表面で乱反射された光の量を検出する第2の受光装置5と、前記第1、第2の受光装置3、5に入射した光量の比率から対象物の表面欠陥の良否を判定する表面欠陥判定装置6とを有して構成する。

Claim (excerpt)：

対象物の表面に光を照射するための投光装置と、対象物の表面で正反射された光の量を検出する第1の受光装置と、内面がミラー構造で、対象物の表面で乱反射された光の散逸を防止する遮光装置と、対象物の表面で乱反射された光の量を検出する第2の受光装置と、前記第1、第2の受光装置に入射した光量の比率から対象物の表面欠陥の良否を判定する表面欠陥判定装置とを有する表面欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , H01L 21/66

FI (4)：

G01N 21/88 G , G01N 21/88 E , G01B 11/30 Z , H01L 21/66 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭62-135751
ウエハ異物検査方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-185288 Applicant：三菱電機株式会社
特開昭63-208747

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