硬質炭素膜被覆部材

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：内田明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997039248
Publication number (International publication number)：1998237627
Application date： Feb. 24, 1997
Publication date： Sep. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】基材との密着性、膜同士の密着性、耐摩耗性、耐久性等に優れた硬質炭素膜被覆部材を提供することを目的とする。【解決手段】硬質炭素膜が被覆された部材において、少なくとも1種類以上の金属元素が添加された硬質炭素膜と、少なくとも1種類以上の金属又は金属炭化物又は金属窒化物又は金属炭窒化物とを繰り返し交互に積層して被覆層が形成され、繰り返しの周期が1nm〜3μmであり、硬質炭素膜の総膜厚が全膜厚の20%〜98%であること特徴とする硬質炭素膜被覆部材。

Claim (excerpt)：

硬質炭素膜が基材上に被覆された部材において、少なくとも1種類以上の金属元素が添加された硬質炭素膜と、少なくとも1種類以上の金属又は金属炭化物又は金属窒化物又は金属炭窒化物とを繰り返し交互に積層して被覆層が形成され、繰り返しの周期が1nm〜3μmであることを特徴とする硬質炭素膜被覆部材。

IPC (2)：

C23C 14/06 , C23C 16/30

FI (2)：

C23C 14/06 F , C23C 16/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

硬質多層膜形成体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-205042 Applicant：吉田工業株式会社
硬質炭素積層膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-254813 Applicant：住友電気工業株式会社

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