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J-GLOBAL ID:200903096040658885

共焦点スキャナ及び共焦点顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小林 良平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004322313
Publication number (International publication number):2006133499
Application date: Nov. 05, 2004
Publication date: May. 25, 2006
Summary:
【課題】 複数光束の同時走査を行う際の振動の問題を解消するとともに、観察したい領域のみに光を照射することで蛍光色素の劣化等を軽減する。 【解決手段】 光源1からの出射光は集光光学系2により波長選択フィルタ3及びダイクロイックミラー4を介して、多数のマイクロミラーが2次元状に配列されたMEMSミラーアレイ5に集光される。各マイクロミラーの角度に応じて複数の特定箇所の反射光のみが対物レンズ6に送られ試料8に集光されるから、マイクロミラーをピンホールとして利用することができる。各マイクロミラーの傾斜角度が順次変化するように走査することにより、試料8上で複数の光ビームの照射位置が移動するように走査を行うことができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
試料を極小のスポットで照明するとともにそのスポットの位置を走査する共焦点スキャナにおいて、 a)照射光を放出する光源と、 b)該光源と試料との間に配置された、光束を絞るための対物レンズと、 c)前記光源と前記対物レンズとの間に配置され、それぞれの角度が可変である複数のマイクロミラーがアレイ状に配列されて成る光反射手段と、 d)前記複数のマイクロミラーの中の所定位置のマイクロミラーで反射された光が前記対物レンズを介して試料に照射され、他のマイクロミラーで反射された光が前記対物レンズに入射しないように各マイクロミラーの角度を制御し、且つ、試料に照射される光を反射するマイクロミラーの位置が時間経過に伴って変化するように走査を行うミラー駆動制御手段と、 を備えることを特徴とする共焦点スキャナ。
IPC (2):
G02B 21/00 ,  G02B 26/08
FI (2):
G02B21/00 ,  G02B26/08 E
F-Term (12):
2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD31 ,  2H052AD34 ,  2H052AF06 ,  2H052AF14
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 共焦点光スキャナ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-145833   Applicant:横河電機株式会社
Cited by examiner (3)

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