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J-GLOBAL ID:200903096125976223
電子放出素子及びその製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (2):
田治米 登 (外1名)
, 田治米 登 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996090337
Publication number (International publication number):1997129123
Application date: Mar. 19, 1996
Publication date: May. 16, 1997
Summary:
【要約】【課題】 電子放出素子の尖鋭な先端を有するエミッタを、異方性蒸着法ではなく反応性イオンエッチング法等により形成できるようにし、しかも単結晶Si基板以外の大面積化が容易なガラス基板を使用できるようにし、且つ基板を大面積化した場合でも基板内の複数の電子放出素子の特性の均一性を保つ。【解決手段】 基板1、エミッタ配線2、絶縁層4及びゲート電極5が順次積層され、ゲート電極5と絶縁層4とにはエミッタ配線層2に達する開口部Aが設けられ、その開口部A内のエミッタ配線層2上にコーン型のエミッタ3がゲート電極5に接触しないように形成されてなる電界放射型電子放出素子において、エミッタ配線層2を金属薄膜から形成し、そしてエミッタ3を非単結晶シリコンから形成する。
Claim (excerpt):
基板、エミッタ配線層、絶縁層及びゲート電極が順次積層され、該ゲート電極と絶縁層とには該エミッタ配線層に達する開口部が設けられ、その開口部内の該エミッタ配線層上に、コーン型のエミッタが該ゲート電極に接触しないように形成されてなる電界放射型の電子放出素子において、エミッタ配線層が金属薄膜から形成されており、且つエミッタが非単結晶シリコンから形成されていることを特徴とする電子放出素子。
IPC (3):
H01J 1/30
, G09F 9/313
, H01J 9/02
FI (3):
H01J 1/30 C
, G09F 9/313 E
, H01J 9/02 B
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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特開昭51-066767
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特開平4-167325
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特開平3-062482
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電界放出陰極装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-334391
Applicant:富士通株式会社
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電子放出用冷陰極の製造方法およびタングステン層もしくはその合金層のパターニング方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-078029
Applicant:大日本印刷株式会社
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特開昭58-093243
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電界放出型冷陰極の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-036535
Applicant:株式会社東芝
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微小真空素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-094674
Applicant:日本電気株式会社
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特開昭58-093243
-
特開昭58-093243
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