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J-GLOBAL ID：200903096775146438

光触針の制御方法

Inventor：
渡辺 伸一郎

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池田 照樹

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大津 元一

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Applicant, Patent owner：
日本分光株式会社

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科学技術振興事業団

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財団法人神奈川科学技術アカデミー

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Agent (1)： 岩橋 祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998100665
Publication number (International publication number)：1999281656
Application date： Mar. 27, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：
【要約】【課題】本発明の目的は、測定ごとに必要となる位置、光学調整の手間を省き、光触針の振幅の変化を高感度に検出でき、より安価で提供できる方法を提供することにある。【解決手段】被測定物表面と光触針を近接させることによりエバネッセント光を散乱させ、その散乱光より被測定物の情報を得る近接場光学装置において、光触針と被測定物間の距離制御には、シアフォースフィードバックを用いており、光触針の振幅の変化を1つ以上の電極を用いた容量検出型位置検出器によって検出することで、または、トンネル電流検出型位置検出器によって検出することで、或いは、振動検出型位置検出器と光触針を振動させる加振器が一体に形成されており、光触針の加振と、光触針の振幅の検出を一定周期ごとに交互に行う時分割型振動検出方式を用いることで被測定物間の距離制御を行うことを特徴とする光触針の制御方法。
Claim (excerpt)：
被測定物表面と光触針を近接させることによりエバネッセント光を散乱させ、その散乱光より被測定物の情報を得る近接場光学装置において、光触針と被測定物間の距離制御には、光触針を振動させながら被測定物に接近させて行き、光触針と被測定物間の距離を非常に接近させたときに光触針に対して作用するシアフォースによって光触針の振動が制振されることを用いて、光触針の振幅の変化を検出することで、光触針と被測定物間の距離制御を行う、シアフォースフィードバックを用いており、光触針の振幅の変化を一つ以上の電極を用いた容量検出型位置検出器によって検出することで、光触針と被測定物間の距離制御を行うことを特徴とする光触針の制御方法。
IPC (5)：
G01N 37/00 ,  G01H 1/00 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/27 ,  G05D 3/00
FI (5)：
G01N 37/00 D ,  G01H 1/00 V ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/27 C ,  G05D 3/00 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (21)
  • ニアフィールド光学顕微装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-118369   Applicant：河田聡, 株式会社ユニソク
  • 特開平3-096857
  • 電圧・変位検出プローブ及びこれを用いた電圧・変位測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-292036   Applicant：富士通株式会社, 株式会社アドバンテスト
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