成膜方法及びその装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：浅井章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997130260
Publication number (International publication number)：1998079378
Application date： May. 02, 1997
Publication date： Mar. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】金属酸化膜の成膜レートを向上させることができる成膜方法を提供する。【解決手段】被処理体Wに金属酸化膜を形成する成膜装置において、真空引き可能になされた処理容器46と、この処理容器内に収容される被処理体を載置する載置台58と、前記処理容器内に気化状態の金属酸化膜原料を供給する原料供給手段6と、前記処理容器内に気化状態のアルコールを供給するアルコール供給手段8と、前記処理容器内を真空引きする真空排気系54とを備えるように構成する。このようにアルコールを添加することにより、成膜レートを大幅に向上させる。

Claim (excerpt)：

被処理体に金属酸化膜を形成する成膜装置において、真空引き可能になされた処理容器と、この処理容器内に収容される被処理体を載置する載置台と、前記処理容器内に気化状態の金属酸化膜原料を供給する原料供給手段と、前記処理容器内に気化状態のアルコールを供給するアルコール供給手段と、前記処理容器内を真空引きする真空排気系とを備えるように構成したことを特徴とする成膜装置。

IPC (4)：

H01L 21/31 , C23C 16/40 , C23C 16/44 , H01L 21/316

FI (4)：

H01L 21/31 B , C23C 16/40 , C23C 16/44 C , H01L 21/316 X

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

薄膜形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-066356 Applicant：オリンパス光学工業株式会社, シメトリックス・コーポレーション
金属酸化膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-060400 Applicant：株式会社東芝
金属酸化膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-229277 Applicant：株式会社東芝

Show all

Cited by examiner (4)

薄膜形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-066356 Applicant：オリンパス光学工業株式会社, シメトリックス・コーポレーション
金属酸化膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-060400 Applicant：株式会社東芝
金属酸化膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-229277 Applicant：株式会社東芝

Show all

Return to Previous Page