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J-GLOBAL ID：200903097342225160

欠陥検出装置

Inventor： 鈴木 潮
Applicant, Patent owner： 富士電線電器株式会社
Agent (1)： 岡田 英彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997324793
Publication number (International publication number)：1999160250
Application date： Nov. 26, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】 組成変化等が起きた被検査物を含めた幅広い被検査物について、表面上の傷や小孔(貫通,非貫通を含む)等を検出できるようにする。【解決手段】 発光部10から発した光は、偏光子12によって被検査物14の一面に直線偏光波W4が照射される。傷や小孔等の欠陥がある被検査物14では、その欠陥によって直線偏光波W4が屈折や乱反射等する。少なくとも2つの受光部18は、被検査物14を透過または通過した光を検光子16を介して受ける。さらに受光部18ごとにそれぞれの光強度測定部20で光の強度が測定され、欠陥判別部22が隣接する光強度測定部20で測定された光の強度の差分を求め、その差分値が所定値を超えたか否かによって欠陥の有無を判別する。したがって、組成変化等が起きた被検査物14を含めた幅広い被検査物14について、傷や小孔等を検出することができる。

Claim (excerpt)：

被検査物に光を照射し、その被検査物を透過または通過した光を測定することにより、その被検査物に生じた傷や小孔等の欠陥を検出する欠陥検出装置において、その被検査物の一面側に設けられ、その被検査物に対して偏光子を介して発光する発光部と、その被検査物の他面側において前記発光部に対向する位置からずらして設けられ、その被検査物を透過または通過した光を検光子を介して受ける少なくとも2つの受光部と、その少なくとも2つの受光部のそれぞれに対応して設けられ、受光した光の強度をそれぞれ測定する光強度測定部と、隣接する光強度測定部によって測定された光の強度の差分値が所定値を超えたか否かによって、前記欠陥の有無を判別する欠陥判別部と、を有することを特徴とする欠陥検出装置

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-335145
  
• 異物検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-304388   Applicant：松下電器産業株式会社
• 異物とパターンの弁別閾値設定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-309913   Applicant：日立電子エンジニアリング株式会社