ポジ型感光性樹脂組成物とその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997263618
Publication number (International publication number)：1999102068
Application date： Sep. 29, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】アルカリ性現像液で現像可能なポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)ナフトキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(R1は4価の芳香族基、R2は3価の芳香族基、R3は2価の芳香族基、R4は水素または炭素数1から20までの有機基である。nは10から100,000までの整数。)

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)ナフトキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(R1は4価の芳香族基、R2は3価の芳香族基、R3は2価の芳香族基、R4は水素または炭素数1から20までの有機基である。nは10から100,000までの整数。)

IPC (7)：

G03F 7/022 , C08K 5/22 , C08L 79/08 , G03F 7/039 , H01L 21/312 , C08G 69/32 , C08G 73/10

FI (7)：

G03F 7/022 , C08K 5/22 , C08L 79/08 A , G03F 7/039 , H01L 21/312 B , C08G 69/32 , C08G 73/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特許第3440832号
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-263226 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-094253 Applicant：住友ベークライト株式会社

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