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J-GLOBAL ID:200903097646878054
絶縁ゲート電界効果トランジスタ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
山崎 宏
, 田中 光雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006309107
Publication number (International publication number):2008124374
Application date: Nov. 15, 2006
Publication date: May. 29, 2008
Summary:
【課題】ノーマリオフ動作が可能な絶縁ゲート電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】このヘテロ接合電界効果トランジスタ(MISHFET)は、AlGaNバリア層104の上にソースオーミック電極105とドレインオーミック電極106が形成されている。AlGaNバリア層104上にSiNxゲート絶縁膜108、p型多結晶SiC層109、オーミック電極であるPt/Auゲート電極110が順次形成されている。p型多結晶SiC層109は仕事関数が相対的に大きいので、ゼロバイアス状態でもMISHFETのチャネルが空乏化されて、ノーマリオフ動作が生じる。【選択図】図1
Claim (excerpt):
第1導電型チャネルが形成される半導体チャネル層と、
上記半導体チャネル層上に形成されたソース電極と、
上記半導体チャネル層上に形成されたドレイン電極と、
上記半導体チャネル層上に形成されたゲート絶縁膜と、
上記ゲート絶縁膜上に形成された第2導電型の半導体膜と、
上記第2導電型の半導体膜上に形成された金属製のオーミック電極からなるゲート電極とを備えることを特徴とする絶縁ゲート電界効果トランジスタ。
IPC (9):
H01L 21/338
, H01L 29/778
, H01L 29/812
, H01L 29/78
, H01L 21/283
, H01L 21/28
, H01L 29/423
, H01L 29/49
, H01L 29/80
FI (6):
H01L29/80 H
, H01L29/78 301B
, H01L21/283 C
, H01L21/28 301Z
, H01L29/58 G
, H01L29/80 W
F-Term (57):
4M104AA01
, 4M104AA04
, 4M104AA07
, 4M104AA10
, 4M104BB14
, 4M104BB33
, 4M104BB36
, 4M104BB40
, 4M104CC03
, 4M104CC05
, 4M104DD37
, 4M104DD43
, 4M104EE03
, 4M104EE16
, 4M104EE17
, 4M104FF13
, 4M104GG09
, 4M104GG10
, 4M104GG14
, 5F102FA00
, 5F102GA14
, 5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GD10
, 5F140AA01
, 5F140AA04
, 5F140AA06
, 5F140AA18
, 5F140AA24
, 5F140BA06
, 5F140BA07
, 5F140BA08
, 5F140BA09
, 5F140BB18
, 5F140BD07
, 5F140BD11
, 5F140BD12
, 5F140BE03
, 5F140BE10
, 5F140BF04
, 5F140BF15
, 5F140BF21
, 5F140BF25
, 5F140BF33
, 5F140BF34
, 5F140BF43
, 5F140BF44
, 5F140BF46
, 5F140BG28
, 5F140BG30
, 5F140BJ05
, 5F140BJ11
, 5F140BJ13
, 5F140BJ15
, 5F140BJ17
, 5F140CC02
, 5F140CE02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-203967
Applicant:富士通株式会社
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特開平4-352332
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特開平4-352332
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特開平3-116738
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特開平3-116738
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電界効果トランジスタ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-217252
Applicant:三菱電機株式会社
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ヘテロ構造電界効果トランジスタ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-225449
Applicant:日本電信電話株式会社
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特開昭60-137071
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特開平4-352332
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特開平3-116738
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特開昭60-137071
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