Pat
J-GLOBAL ID：200903097690422467

走査型磁気顕微鏡

Inventor：
冨田 司

About 冨田 司


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 倉内 義朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997178419
Publication number (International publication number)：1999023591
Application date： Jul. 03, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：
【要約】【課題】 磁気試料表面の微小な磁気分布及び表面構造を、高空間分解能でかつ高感度に測定することが可能な走査型磁気顕微鏡を提供する。【解決手段】 先端に探針1aを有する可撓性のカンチレバー1と、このカンチレバー1の先端位置における磁界の強さを検出するめの超伝導量子干渉素子(SQUID)2及びその冷却装置10を設け、そのカンチレバー1の探針1aと試料S表面との距離を一定に保持しながら、探針1aを試料S表面上に沿って走査することで、原子間力やトンネル電流を用いた観察により試料表面の構造情報を検出するとともに、同一場所の試料上の磁気情報を計測する。
Claim (excerpt)：
先端に探針を有する可撓性のカンチレバーと、このカンチレバーの先端位置における磁界の強さを検出するための超伝導量子干渉素子と、上記カンチレバーの探針と試料表面との距離を一定に保持しながら、探針を試料表面上に沿って走査する手段と、上記超伝導量子干渉素子を超伝導転移温度以下に冷却する手段を備えてなる走査型磁気顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01R 33/02 ,  G01R 33/035 ZAA
FI (4)：
G01N 37/00 H ,  G01B 21/30 Z ,  G01R 33/02 F ,  G01R 33/035 ZAA
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM