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J-GLOBAL ID：200903098030415030

フォトレジストフィルム

Inventor： 村上 滋 ,  小田 通郎
Applicant, Patent owner： 日本合成化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998142316
Publication number (International publication number)：1999327132
Application date： May. 08, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 感度、解像性、密着性、パターンの形成性に非常に優れたフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 支持体フィルム/感光性樹脂組成物層/保護フィルムからなるフォトレジストフィルムにおいて、保護フィルムとして、感光性樹脂組成物層と接する面の最大粗さ(Ry)が2.0μm以下であるフィルムを用いたフォトレジストフィルム。

Claim (excerpt)：

支持体フィルム/感光性樹脂組成物層/保護フィルムからなるフォトレジストフィルムにおいて、保護フィルムとして、感光性樹脂組成物層と接する面の最大粗さ(Ry)が2.0μm以下であるフィルムを用いたことを特徴とするフォトレジストフィルム。

IPC (3)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/09 501 ,  H05K 3/06

FI (3)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/09 501 ,  H05K 3/06 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• カラーフィルタ用感光性フィルム、カラーフィルタ用感光性フィルムの製造法及びカラーフィルタの製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-252869   Applicant：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-067591   Applicant：日本合成化学工業株式会社
• 感光性フィルム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-255242   Applicant：日立化成工業株式会社
• ドライフィルムフォトレジスト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-314929   Applicant：コーロンインダストリーズインク
• 感光性フィルム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-260748   Applicant：日立化成工業株式会社