微細構造体および微細構造体の製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：磯野道造 , 多田悦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005321717
Publication number (International publication number)：2007125665
Application date： Nov. 07, 2005
Publication date： May. 24, 2007
Summary：

【課題】本発明の課題は、nmスケールからμmスケールに亘る微細構造内に、さらに2つ以上の相を有する微細構造体を提供することにある。【解決手段】本発明は、支持体(下地層5)と、前記支持体(下地層5)の少なくとも一方の面に形成された複数の凸部2とを有する微細構造体1Aであって、前記凸部2は、その形成材料が第1の相3と、第2の相4とに分離した相分離構造を有することを特徴とする。そして、本発明の微細構造体1Aは、微細構造体1Aの内部における各相3,4の体積分率や分子構造、凸部2の形状を変更することによって、凸部2の内部の相3,4の形状を、柱状、層状などに制御することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

支持体と、前記支持体の少なくとも一方の面に形成された複数の凸部と、を有する微細構造体であって、前記凸部は、その形成材料が2種類以上の相に分離した相分離構造を有することを特徴とする微細構造体。

IPC (6)：

B82B 1/00 , H01L 21/027 , G02B 6/122 , B82B 3/00 , G11B 5/65 , G11B 5/84

FI (6)：

B82B1/00 , H01L21/30 502D , G02B6/12 B , B82B3/00 , G11B5/65 , G11B5/84 Z

F-Term (21)：

2H147AB04 , 2H147BC14 , 2H147BG04 , 2H147CC14 , 2H147CD12 , 2H147EA13C , 2H147EA16A , 2H147EA16B , 2H147FC03 , 2H147FC08 , 2H147FE02 , 5D006BB07 , 5D006BB09 , 5D006EA00 , 5D112AA05 , 5D112AA18 , 5D112AA19 , 5D112BA10 , 5D112GA20 , 5D112GA22 , 5F046AA28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

米国特許5,259,926号明細書
米国特許5,772,905号明細書
加工方法及び成形体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-358296 Applicant：株式会社東芝

Cited by examiner (3)

垂直配向ラメラ構造を有するブロック共重合体膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-294169 Applicant：関西ティー・エル・オー株式会社
ナノ構造体、多孔質ナノ構造体および機能性ナノ構造体、並びにそれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-160022 Applicant：古河電気工業株式会社
加工方法及び成形体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-358296 Applicant：株式会社東芝

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

Return to Previous Page