Pat
J-GLOBAL ID：200903098450336098
配列カーボンナノチューブの製造方法
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005073525
Publication number (International publication number)：2006256881
Application date： Mar. 15, 2005
Publication date： Sep. 28, 2006
Summary：
【課題】自己組織的に触媒金属が配置,配列された状態とすることで、カーボンナノチューブを微小な領域に端点をそろえて配列された状態に形成する。【解決手段】基板101の主表面に、例えば、鉄及びコバルトなど、CVD法によりカーボンナノチューブが成長するときの触媒となる金属(触媒金属)から構成された触媒金属層103が形成された状態とする。次に、触媒金属層103が形成された基板101が例えば500〜700°C程度に加熱された状態とすることで、ステップ102端に触媒金属が島状に凝集する状態とし、ステップ102端に、触媒金属からなる触媒金属粒104が配置された状態とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
炭素原料ガスを用いた化学蒸着法により触媒金属からなる触媒金属粒にカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、
表面に原子ステップ構造が形成された基板を用意する第1工程と、
前記基板の表面に前記触媒金属からなる所定の膜厚の触媒金属層が形成された状態とする第2工程と、
前記基板を加熱して前記触媒金属が溶解された状態とし、溶解した前記触媒金属が前記基板の表面で島状に凝集して触媒金属粒が形成された状態とする第3工程と、
炭素原料ガスを用いた化学蒸着法により、前記触媒金属粒にカーボンナノチューブが形成された状態とする第4工程と
を少なくとも備えることを特徴とする配列カーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (10)：
4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AD29
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146DA03
Cited by examiner (3)
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オフ基板上でのカーボンナノチューブの製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2002-235015
Applicant：富士通株式会社
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素子間配線形成法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2002-019742
Applicant：日本電信電話株式会社
-
カーボンナノチューブ構造体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2003-361935
Applicant：富士通株式会社
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