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J-GLOBAL ID：200903098479801326

熱電変換材料、熱電変換素子およびその製造方法

Inventor：
佐藤 新治

About 佐藤 新治


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (1)： 友松 英爾
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001170328
Publication number (International publication number)：2002353523
Application date： Jun. 05, 2001
Publication date： Dec. 06, 2002
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 熱電変換素子の高集積化を図ると共に、放熱効率の向上を図る。【解決手段】 絶縁物中に形成した孔の中に熱電変換材料が埋め込まれていることを特徴とし、絶縁性基板1上に第1の電極2を形成し、その上に第1の絶縁物層3を形成し、第1の絶縁物層に第1の電極に通じる第1の接続孔4を形成してN型熱電変換材料5を充填し、次いで第1の絶縁物層およびN型熱電変換材料上に第2の絶縁物層6を形成し、第2の絶縁物層に第1の電極に通じる第2の接続孔7を形成してP型熱電変換材料8を充填し、第2の絶縁物層をN型熱電変換材料及びP型熱電変換材料が露出するまでエッチバックした後、第2の絶縁物層及び両熱電変換材料上に第2の電極9を形成して熱電変換素子を作製する。
Claim (excerpt)：
絶縁物中に形成した孔の中に熱電変換材料が埋め込まれていることを特徴とする熱電変換素子。
IPC (6)：
H01L 35/32 ,  F25B 21/02 ,  H01L 35/16 ,  H01L 35/30 ,  H01L 35/34 ,  H02N 11/00
FI (6)：
H01L 35/32 A ,  F25B 21/02 A ,  H01L 35/16 ,  H01L 35/30 ,  H01L 35/34 ,  H02N 11/00 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 熱電変換用サーモモジュール及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-295447   Applicant：三菱マテリアル株式会社
  • 半導体装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-019750   Applicant：ヤマハ株式会社
  • 熱電発電素子の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-284134   Applicant：シチズン時計株式会社
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