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J-GLOBAL ID：200903098554069644

複合構造物とその製造方法および複合構造物形成用脆性材料粒子

Inventor： 鳩野 広典 ,  清原 正勝 ,  森 勝彦 ,  横山 達郎 ,  吉田 篤史 ,  伊藤 朋和 ,  安田 基 ,  辻道 万也 ,  山口 香緒里 ,  明渡 純
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  東陶機器株式会社
Agent (1)： 小山 有
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001314449
Publication number (International publication number)：2003119574
Application date： Oct. 11, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】 脆性材料粒子を高速で基板に衝突させ、この衝突により、基板上に脆性材料構造物を形成させる複合構造物の形成に関する不具合を解消してエッチングによる欠損部分をなくし、また構造物の形成速度の向上が可能となる脆性材料微粒子およびこれを用いて作製された脆性材料構造物とその製造方法を提供する【解決手段】 原料の脆性材料粒子粉体に熱や熱風等を加える方法によりそれに含まれる水分の量を抑制することで、その水分量を0.45%以下あるいは0.40%以下としたことにより原料粉体の凝集が少なく安定したエアロゾルが得られ、その発生量も制御し易くした。水分量0.45%以下になると構造物の形成が可能で、かつエッチング等による構造物の剥離も見られにくくなり、均質な性状の膜を得る事が出来る。更に望ましくは水分量0.40%以下においては均質な性状の構造物をより速い形成速度で得る事が出来る。

Claim (excerpt)：

水分量が0.45%以下の脆性材料粒子を高速で基板に衝突させ、この衝突により、基板上に脆性材料からなる構造物を形成させることを特徴とする複合構造物の製造方法。

F-Term (10)：

4K044AA06 ,  4K044AB05 ,  4K044BA12 ,  4K044BA13 ,  4K044BA18 ,  4K044BB01 ,  4K044BC06 ,  4K044CA23 ,  4K044CA29 ,  4K044CA53

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 脆性材料超微粒子成形体の低温成形法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-123047   Applicant：工業技術院長
• 超微粒子成膜法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-210765   Applicant：工業技術院長
• 複合構造物の作製方法および作製装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-310585   Applicant：経済産業省産業技術総合研究所長, 東陶機器株式会社