座標変換方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993048406
Publication number (International publication number)：1994258240
Application date： Mar. 09, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】機能の異なる2台の微細形状観察装置を用いて同一の目標物を観察する時に、一方を出力側、他方を入力側として、出力側の「試料の外形や特徴点で定義された座標系」での座標値を「入力側の位置制御座標系」での座標値へ変換をするときに、変換座標値の誤差を低減する。【構成】あらかじめ、出力側と入力側の「試料の外形や特徴点で定義された座標系(共通座標系)」間の誤差を補正する座標変換係数を求めておく。座標値入出力装置15を介して入力側装置に入力される目標物の出力側の座標値を、上記座標変換係数を用いて変換し、「入力側の共通座標系」の座標値とする。この座標値を用いて目標物の「入力側の位置制御座標系」での座標値を求める。

Claim (excerpt)：

2つの機能の異なる微細形状観察装置で同一の試料上の同一目標物を各々観察する場合において、第1の微細形状観察装置を出力側に第2の微細形状観察装置を入力側として、各々前記試料の外形や特徴点で定義された座標系を共通座標系として、あらかじめ前記出力側の前記共通座標系と前記入力側の前記共通座標系間の座標変換係数を求めておき、前記座標変換係数を用いて、前記出力側の前記共通座標系での前記試料上の観察目標点の座標値を前記入力側の前記共通座標系での座標値を変換し、しかるのち前記入力側の前記共通座標系での前記座標値を用いて前記入力側の位置制御座標系での座標値に変換する座標変換方法。

IPC (5)：

G01N 21/88 , G01B 7/34 , G02B 21/00 , H01J 37/22 , H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開昭62-173731
特開昭59-010231
異物観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-027797 Applicant：株式会社日立製作所

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