気体の励起装置及び励起方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森田憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002333978
Publication number (International publication number)：2004167315
Application date： Nov. 18, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：

【課題】気体を効率よく励起させ、解離やイオン化させて低温プラズマを高効率で発生させることができる気体の励起装置及び励起方法を提供する。【解決手段】気体励起装置10は、被処理気体の流入用開口部2と処理済み気体の排出用開口部3とを有するハウジング1内に、交流電源と接続する少なくとも1対の電極4A,4Bを備え、(1)前記電極の一方が、芯電極と、その芯電極の周囲を包囲する絶縁体鞘体とからなり、その絶縁体鞘体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極であり、(2)もう一方の電極が露出して、被処理気体と直接に接触する露出電極であり、そして(3)前記露出電極と前記ハウジングとが共にアースされている。励起方法は、前記ハウジング1内に被処理気体を通過させて実施する。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

被処理気体の流入用開口部と処理済み気体の排出用開口部とを有するハウジング内に、交流電源と接続する少なくとも1対の電極を備えた気体励起装置であって、 (1)前記電極の一方が、芯電極と、その芯電極の周囲を包囲する絶縁体鞘体とからなり、その絶縁体鞘体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極であり、 (2)もう一方の電極が露出して、被処理気体と直接に接触する露出電極であり、そして (3)前記露出電極と前記ハウジングとが共にアースされていることを特徴とする、気体の励起装置。

IPC (4)：

B01J19/08 , A61L9/00 , A61L9/22 , H05H1/24

FI (4)：

B01J19/08 E , A61L9/00 C , A61L9/22 , H05H1/24

F-Term (18)：

4C080AA07 , 4C080BB02 , 4C080CC01 , 4C080QQ20 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075BD14 , 4G075BD24 , 4G075CA13 , 4G075DA02 , 4G075EB01 , 4G075EB41 , 4G075EC06 , 4G075EC21 , 4G075EE02 , 4G075FB02 , 4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

プラズマアシストガス処理用反応器
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-599989 Applicant：アクセンタスパブリックリミテッドカンパニー
排気ガス処理用のプラズマ放電管
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-351778 Applicant：株式会社エクォス・リサーチ, シシド静電気株式会社

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