レーザー光源

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三品岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995310763
Publication number (International publication number)：1997148658
Application date： Nov. 29, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】露光機内部の光学系の光損傷が起こらないようにピークパワーを抑えた、低コヒーレンスのパルス光を照射することができるレーザー光源を提供する。【解決手段】レーザーパルス光151〜155をそれぞれ発生するパルスレーザー部131〜135と、各パルスレーザー部での発光タイミングを制御するトリガー信号発生装置14と、インジェクション・シードを行うためのシード光を連続発生するYAGレーザー光源11と、前記シード光を各パルスレーザー部へ導く全反射鏡121及び半透鏡122〜125とを有し、トリガー信号発生装置14は、各パルスレーザー部から出射されたパルス光が互いに重ならないように、各パルスレーザー部へ順次あるいはランダムに発光タイミングを指示するためのトリガー信号を与える。

Claim (excerpt)：

パルス状のレーザー光を発生するためのレーザー要素を複数並列に構成したレーザー光発生部と、前記複数のレーザー要素の発光タイミングを制御するタイミング調整部とを有し、前記タイミング調整部は、複数個のレーザーパルス光が同時に出力されないように発光タイミングを制御することを特徴とするレーザー光源。

IPC (3)：

H01S 3/10 , G03F 7/20 505 , H01L 21/027

FI (4)：

H01S 3/10 A , G03F 7/20 505 , H01L 21/30 515 B , H01L 21/30 527

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平1-302881
特開平4-135083
レーザ露光描画装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-011859 Applicant：ソニー株式会社

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