出射効率制御装置及びそれを用いた赤外線センサ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：滝本智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995139073
Publication number (International publication number)：1996334408
Application date： Jun. 06, 1995
Publication date： Dec. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】焦電センサへ入射させる赤外線などの光量を制御するのに使われる出射効率制御装置において、動作が高速で再現性に優れ、製作が容易で、かつ低電圧で、簡便に安定な駆動が実現できる出射効率制御装置を提供し、さらにこの出射効率制御装置と焦電体を用い、小型で低電圧駆動が可能な赤外線センサを提供することを目的とする。【構成】基板9と、基板9表面に形成された絶縁層10と、絶縁層10表面に配置された有機物から成るスペーサ層11と、スペーサ層11上に両端を有する複数本の梁12と、絶縁層10表面及び梁12表面に形成された反射膜13とからなり、梁12は下面が酸化されにくい導電体14とした構成としている。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板表面に形成された絶縁層と、前記絶縁層表面に配置された有機物から成るスペーサ層と、前記スペーサ層上に両端を有する複数本の梁と、前記絶縁層表面及び前記梁表面に形成された反射膜とからなり、前記梁は下面が酸化されにくい導電体であることを特徴とする出射効率制御装置。

IPC (2)：

G01J 1/02 , G02B 26/02

FI (2)：

G01J 1/02 P , G02B 26/02 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

赤外線チヨツパおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-333991 Applicant：株式会社豊田中央研究所
光偏向器、その作製方法、および光偏向器を用いた表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-016546 Applicant：キヤノン株式会社
特開昭55-024676

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