スタンパの作成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田辺恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994194678
Publication number (International publication number)：1996045119
Application date： Jul. 27, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、スタンパを容易かつ短時間で作成することのできるスタンパの作成方法の実現を目的とするものである。【構成】板状の基体の一面にネガ型のフオトレジストを塗布し、記録する信号に応じたパターンでフオトレジストを露光し、現像するようにして基体の一面上にフオトレジストからなる凹凸パターンを形成し、当該凹凸パターンに基づいて光デイスク成形時の金型となるスタンパを作成するスタンパの作成方法において、基体自体を加工してスタンパとして使用するようにしたことにより、基体上に形成されるフオトレジストの凹凸パターンの転写工程を省略することができ、かくしてスタンパを容易かつ短時間で作成することのできるスタンパの作成方法を実現できる。

Claim (excerpt)：

板状の基体の一面にフオトレジストを塗布し、記録する信号に応じたパターンで上記フオトレジストを露光し、現像することにより上記基体の上記一面上に上記フオトレジストからなる凹凸パターンを形成し、当該凹凸パターンに基づいて光デイスク成形時の金型となるスタンパを作成するスタンパの作成方法において、上記基体自体を加工してスタンパとして使用することを特徴とするスタンパの作成方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平1-188332
光ディスクの成形金型とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-033158 Applicant：株式会社日立製作所
特開平2-061838

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