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J-GLOBAL ID：200903099871060110

光学顕微鏡装置及び光学顕微鏡用データ処理装置

Inventor：
岡本 陽一

About 岡本 陽一

, 
梅原 康暢

About 梅原 康暢


Applicant, Patent owner：
株式会社キーエンス

About 株式会社キーエンス


Agent (2)： 平井 正司 ,  神津 堯子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008104155
Publication number (International publication number)：2009258187
Application date： Apr. 11, 2008
Publication date： Nov. 05, 2009
Summary：
【課題】テンプレートによる三次元の計測や画像処理を可能にするためにパターンマッチングに高さ位置の補正機能を付加する。【解決手段】基準画像に基準ROI画像を指定し(S1)、基準ROI画像の特徴量を抽出して(S2)、この特徴量に基づいて、対象画像において基準画像のROIに相当する領域の画像(「対象ROI画像」)を探索する(S3)。次に、対象ROI画像と基準ROI画像とが二次元平面で同じになるように対象画像全体のx位置,y位置,θ位置を補正する(S4)。次に、基準ROI画像の高さ平均を抽出し(S5)、そして、対象画像において、対象ROI画像の高さ平均が基準ROI画像の高さ平均と同じになるように対象画像全体を補正する(S6)。この一連の処理によって、基準画像と対象画像とは高さを含めて位置が一致する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
試料の表面形状を三次元的に測定可能な光学顕微鏡装置であって、 該光学顕微鏡装置の測定の基準となる基準画像に基づく処理条件を記憶する処理条件記憶手段と、 前記基準画像においてユーザが指定した領域を、該基準画像に関して設定するROI設定手段と、 該ROI設定手段により設定された領域内の特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、 対象物の対象画像において、前記ROI設定手段で設定した領域の画像と類似した画像を前記特徴量抽出手段により抽出した特徴量に基づいて探索する画像探索手段と、 該画像探索手段により探索された前記ROI設定手段で設定した領域の画像と類似した画像の位置が、前記ROI設定手段で設定した領域の画像の二次元位置と同じ二次元位置になるように前記対象画像の位置を補正する二次元位置補正手段と、 前記基準画像において設定された前記特徴量を抽出する領域の画像の高さ情報を抽出する高さ情報抽出手段と、 該高さ情報抽出手段により抽出された高さ情報に基づいて、前記ROI設定手段で設定した基準画像の前記領域の画像と、前記対象画像において前記ROI設定手段で設定した領域の画像と類似した画像の位置とが一致するように、前記対象画像の高さ情報を補正する高さ情報補正手段と、 前記位置補正手段及び前記高さ情報補正手段により二次元位置及び高さ情報が補正された前記対象画像に対して、前記処理条件記憶手段に記憶された前記処理条件を設定する処理条件設定手段とを有することを特徴とする光学顕微鏡装置。
IPC (1)：
G02B 21/00
FI (1)：
G02B21/00
F-Term (7)：
2H052AA05 ,  2H052AA08 ,  2H052AD09 ,  2H052AF03 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (3)

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