感光性重合体組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000146224
Publication number (International publication number)：2001330962
Application date： May. 18, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】金属箔上でのパターン加工において、良好な形状のパターンを面内で均一に得ることができ、金属箔とパターンの間で剥がれの生じることのない感光性重合体組成物を提供する。【解決手段】金属箔上に塗布、プリベークして、露光、現像によりパターンを形成し、キュア後の30°C〜100°Cの平均熱線膨張係数が25×10-6(1/°C)以下である感光性重合体組成物において、(A)ポリマー、(B)金属との接着助剤化合物、(C)感光剤を必須成分とすることを特徴とする感光性重合体組成物。

Claim (excerpt)：

金属箔上に塗布、プリベークして、露光、現像によりパターンを形成し、キュア後の30°C〜100°Cの平均熱線膨張係数が25×10-6(1/°C)以下である感光性重合体組成物において、(A)ポリマー、(B)金属との接着助剤化合物、(C)感光剤を必須成分とすることを特徴とする感光性重合体組成物。

IPC (9)：

G03F 7/085 , C08K 5/34 , C08K 5/36 , C08L101/00 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (9)：

G03F 7/085 , C08K 5/34 , C08K 5/36 , C08L101/00 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/40 501 , H01L 21/312 D , H01L 21/30 502 R

F-Term (62)：

2H025AA00 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC31 , 2H025BC69 , 2H025BC70 , 2H025CA00 , 2H025CA01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CC06 , 2H025DA18 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA20 , 2H096DA01 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096LA17 , 4J002CM011 , 4J002CM041 , 4J002CN061 , 4J002EB097 , 4J002EE037 , 4J002EE047 , 4J002EE057 , 4J002EN107 , 4J002EQ037 , 4J002ES017 , 4J002EU026 , 4J002EU036 , 4J002EU046 , 4J002EU056 , 4J002EU116 , 4J002EU136 , 4J002EU186 , 4J002EV047 , 4J002EV266 , 4J002EV287 , 4J002EV307 , 4J002EV346 , 4J002EV347 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 5F058AA08 , 5F058AB05 , 5F058AC02 , 5F058AC08 , 5F058AF04 , 5F058AG01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

i線照射によるレリーフ構造体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-124383 Applicant：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーミクロエレクトロニクスインコーポレーテッド
特開平2-153934
ポリイミドプライマーをベースとするネガ型フォトレジスト組成物
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