光学的な開口の作製方法

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：坂上正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000367562
Publication number (International publication number)：2002168761
Application date： Dec. 01, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】本発明の課題は、均一な開口径を有する微小開口を量産性良く形成する方法を提供することである。【解決手段】遮光膜で覆われた錐状のチップの先端近傍に存在し、近視野光を照射及び検出する光学的な開口を形成するにあたり、チップと略同じ高さを有するストッパーに接触している接触体の少なくとも一部が、外部の力により変位し、変位した接触体の少なくとも一部を前記チップの先端近傍の遮光膜に接触させることにより開口を形成することを特徴とする光学的な開口の作製方法。

Claim (excerpt)：

遮光膜で覆われた錘状のチップの先端近傍に存在し、近視野光を照射及び検出する光学的な開口を形成するにあたり、前記チップと略同じ高さを有するストッパーに接触している接触体の少なくとも一部が、外部の力により変位し、変位した前記接触体の少なくとも一部を前記チップの先端近傍の前記遮光膜に接触させることにより前記開口を形成することを特徴とする光学的な開口の作製方法。

IPC (4)：

G01N 13/14 , G01N 13/10 , G11B 7/22 , G12B 21/06

FI (4)：

G01N 13/14 B , G01N 13/10 G , G11B 7/22 , G12B 1/00 601 C

F-Term (7)：

5D119AA11 , 5D119AA22 , 5D119AA38 , 5D119BA01 , 5D119CA06 , 5D119JA34 , 5D119NA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

光学的な開口の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-126415 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
光プローブおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-087050 Applicant：三菱電機株式会社
特公平5-021201

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