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J-GLOBAL ID：201002025438391040   Reference number：77A0174603

スパッタリングによるIn₂O₃膜を用いた選択透過膜

Author (2)： 大畑豊 (東京農工大・工) ,  吉田貞史 (電総研)
Material： Oyo Butsuri  (応用物理)
Volume： 46  Issue： 1  Page： 43-50  Publication year： 1977 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： スパッタリング法 ,...

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Reference (23)：

• 1) L. F. Drummeter, Jr. and G. Hass: Physics of Thin Films, ed. G. Hass and R. E. Thun (Aca-demic Press, New York, 1964) Vol. 2, p. 305.
• 2) H. Tabor: Low Temperature Engineering Application of Solar Energy, ed. R. C. Jordan (ASHRAE, New York, 1967) p. 41.
• 3) J. A. Duffie and W. A. Beckmann: Solar Energy Thermal Process (John Wiley and Sons Inc., New York, 1974).
• 4) D. M. Mattox and R. R. Sowell: J. Vac. Sci. Technol., 11 (1974) 793, 12 (1975) 182, 1023.
• 5) J. Jurisson, R. E. Peterson and H. Y. Mar: J. Vac. Sci. Technol., 12 (1975) 1010.

Terms in the title (2)： スパッタリング ,  選択透過膜