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J-GLOBAL ID：201002214878573784   Reference number：10A1620465

Ultraprecision Positioning by New Type of Linear Motor Drive-Challenge to Sub-nanometer Positioning Resolution by Paying Attention to Electric Current Control System-

新型リニアモータ駆動による超精密位置決め-モータ電流制御系に着目したサブナノメートル分解能位置決めへの試み-

Author (5)： TANAKA TOSHIHARU (豊田工高専) ,  OTSUKA JIRO (静岡理工科大) ,  MASUDA IKURO (静岡理工科大) ,  ITO YUICHI (静岡理工科大 大学院) ,  AOYAMA YASUAKI (日立 日立研)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 76  Issue： 12  Page： 1364-1370  Publication year： Dec. 05, 2010 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraprecision machining ,  *linear motor ,  *positioning device ,  *positioning ,  *current control ,  machine tool ,  high-resolution ,  control system ,  time constant ,  displacement(transfer) ,  nanostructure
Semi thesaurus term： *ultraprecision machine tool

JST classification (2)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： リニアモータ駆動 ,  精密位置決め ,  電流制御 ,  着目 ,  分解能 ,  試み