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J-GLOBAL ID：201002214878573784   Reference number：10A1620465

Ultraprecision Positioning by New Type of Linear Motor Drive-Challenge to Sub-nanometer Positioning Resolution by Paying Attention to Electric Current Control System-

新型リニアモータ駆動による超精密位置決め-モータ電流制御系に着目したサブナノメートル分解能位置決めへの試み-

Author (5)： TANAKA TOSHIHARU (豊田工高専) ,  OTSUKA JIRO (静岡理工科大) ,  MASUDA IKURO (静岡理工科大) ,  ITO YUICHI (静岡理工科大 大学院) ,  AOYAMA YASUAKI (日立 日立研)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 76  Issue： 12  Page： 1364-1370  Publication year： Dec. 05, 2010 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraprecision machining ,  *linear motor ,  *positioning device ,  *positioning ,  *current control ,  machine tool ,  high-resolution ,  control system ,  time constant ,  displacement (transfer) ,  nanostructure ,  *ultra-precision machine tool

JST classification (2)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (20)：

• 1) 大岩孝彰,勝木雅英:超精密位置決めにおけるアンケート調査,精密工学会誌,74,10 (2008) 1027.
• 2) 二見茂,古谷彰浩:ACリニアモータと転がり案内を用いたナノメータの位置決め(第1報),精密工学会誌,57,3 (1991) 556.
• 3) 牧野内進:半導体露光ステージ技術の歴史,精密工学会超精密位置決め専門委員会定例会講演前刷集 2007-1 (2007) 22.
• 4) J. Otsuka, S. Ichikawa, T. Masuda and K. Suzuki : Development of a Small Ultraprecision Positioning Device with 5nm Resolution, Measurement Science and Technology, 16 (2005) 2186.
• 5) 大塚二郎、市川宗次、増田富雄:ボールねじ新駆動方式における1nm分離能の小型超精密位置決め装置,2006年精密工学会秋季大会講演会講演論文集,L09 (2006) 857.

Terms in the title (6)： リニアモータ駆動 ,  精密位置決め ,  電流制御 ,  着目 ,  分解能 ,  試み