Art

J-GLOBAL ID：201002227303613584   Reference number：10A0048877

Epitaxial ZnO Thin Films on a-Plane Sapphire Substrates Grown by Ultrasonic Spray-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition

超音波噴霧支援ミスト化学蒸着により成長させたa面サファイア基板上のエピタキシャルZnO薄膜

Author (4)： NISHINAKA Hiroyuki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KAMADA Yudai (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KAMEYAMA Naoki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  FUJITA Shizuo (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 48  Issue： 12  Page： 121103.1-121103.5  Publication year： Dec. 25, 2009 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ultrasonic wave ,  atomization(spray) ,  ultrasonic application ,  chemical vapor deposition ,  mist(pollutant) ,  substrate(plate) ,  *epitaxy ,  *zinc oxide ,  semiconductor material ,  semiconductor thin film ,  *buffer layer ,  surface structure ,  electrical property ,  photoluminescence ,  mobility(ratio) ,  exciton
Semi thesaurus term： 超音波噴霧 ,  sapphire substrate ,  surface morphology

JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Reference (35)：

• A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makino, M. Sumiya, K. Ohtani, S. F. Chiehibu, S. Fuke, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, and M. Kawasaki: Nat. Mater.4(2005)42.
• Z. P. We), Y. M. Lu, D. Z. Shen, Z. Z. Zhang, B. Yao, B. H. Li, J. Y. Zhang, D. X. Zhao, X. W. Fan, and Z. K. Tang: Appl. Phys. Lett.90(2007)042113.
• A. Tsukazaki, M. Kubota, A. Ohtomo, T. Onuma, K. Ohtani, H. Ohno, S.-F. Chichibu, and M. Kawasaki: Jpn. J. Appl. Phys.44(2005)1, 643.
• Y. R. Ryu, J. A. Lubguban. T. S. Lee, H. W. White, T. S. Jeong, C. J. Youn, and B. J. Kim: Appl. Phys. Lett.90(2007)131115.
• M. Nakano, T. Makino, A. Tsukazaki, K. Ueno, A. Ohtomo, T. Fukumura, H. Yuji, Y. Nishimoto, S. Akasaka, D. Takamizu, K. Nakahara, T. Tanabe, A. Kamisawa, and M. Kawasaki: Appl. Phys. Express 1(2008)121201.

Terms in the title (8)： 超音波噴霧 ,  支援 ,  ミスト ,  化学蒸着 ,  成長 ,  サファイア基板 ,  エピタキシャル ,  ZnO薄膜