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J-GLOBAL ID：201002230149369129   Reference number：10A0565028

Athermal Wavelength Characteristics of Si Slot Ring Resonator Embedded with Benzocyclobutene for Optoelectronic Integrated Circuits

光電子集積回路用のベンゾシクロブテンを埋込んだSiスロットリング共振器の非熱的波長特性

Author (4)： ATSUMI Yuki (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  INOUE Keita (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  NISHIYAMA Nobuhiko (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  ARAI Shigehisa (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 49  Issue： 5,Issue 1  Page： 050206.1-050206.3  Publication year： May. 25, 2010 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ring resonator ,  *slotted waveguide ,  refractive index ,  temperature coefficient ,  overlayer ,  *frequency shift ,  optical waveguide ,  optical integrated circuit
Semi thesaurus term： *wavelength shift

JST classification (1)： Resonator  (NC04050Y)

Substance index (1)： Benzocyclobutene

Reference (17)：

• ITRS Report (2007).
• F. Grillot, L. Vivien, S. Laval, and E. Cassan: J. Lightwave Technol.24(2006)891.
• T. Tsuchizawa, K. Yamada, H. Fukuda, T. Watanabe, J. Takahashi, M. Takahashi, T. Shoji, E. Tamechika, S. Itabashi, and H. Morita: IEEE J. Scl. Top. Quantum Electron.11(2005)232.
• A. Fang, H. Park, Y. Kuo, R. Jones, O. Cohen, D. Liang, O. Raday, M. Sysak, M. Paniccia, and J. Bowers: Mater. Today 10(2007) Nos.7-8.28.
• I. Kiyat, A. Aydinli, and N. Dagli: Opt. Express 13(2005)1900.

Terms in the title (7)： 光電子集積回路 ,  ベンゾシクロブテン ,  埋込 ,  Si ,  スロット ,  リング共振器 ,  波長