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J-GLOBAL ID：201002238826966334   Reference number：10A1529999

Effect of intermediate layer on wear-delamination life of low-frictional SiC-2.6mass%Ti film sputter-deposited on titanium substrate

チタン基板上にスパッタ蒸着した低摩擦SiC-2.6質量%Ti膜の摩耗剥離に及ぼす中間層の影響

Author (3)： ZHENG Jin-hua ,  KATO Masahiko ,  NAKASA Keijiro
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 205  Issue： 7  Page： 2532-2537  Publication year： Dec. 25, 2010 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Titanium ,  substrate (plate) ,  *sputtered deposition ,  magnetron sputtering ,  *silicon carbide ,  *wear ,  *exfoliation ,  friction coefficient ,  lifetime ,  multistory structure ,  strength ,  residual stress ,  compressive stress ,  evaporated film ,  *cermet ,  *ceramic coating ,  interface strength ,  interlayer ,  *mechanical property ,  *property

JST classification (1)： Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V)

Terms in the title (6)： チタン ,  スパッタ蒸着 ,  低摩擦 ,  質量 ,  摩耗 ,  中間層