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J-GLOBAL ID：201002241579686430   Reference number：10A0364603

Control of Electrical Conduction and Optical Absorption of Tungsten-Oxide Films with Oxygen Deficiencies

酸素欠損による酸化タングステン膜の電気伝導性および光学吸収の制御

Author (3)： SATO Ryuji (Japan Broadcasting Corp., Tokyo, JPN) ,  SUGIYAMA Masaaki (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  KUNUGI Yoshihito (Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
Material： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Trans Mater Res Soc Jpn)
Volume： 35  Issue： 1  Page： 163-166  Publication year： Mar. 2010 
JST Material Number： L4468A  ISSN： 1382-3469  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *tungsten oxide ,  *ceramic membrane ,  substrate (plate) ,  Glass ,  point defect ,  vacancy ,  Oxygen ,  *conductive property ,  *optical absorption ,  *reactive sputtering ,  sputtered deposition ,  evaporated film ,  flow rate ,  annealing (heat treatment) ,  *electrical resistivity ,  electronic state ,  state density ,  density functional method ,  *oxygen defect
Semi thesaurus term： *anneal ,  *oxygen defect ,  generalized gradient approximation

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Electric conduction in other inorganic compounds  (BM03044O)

Reference (6)：

• R. Sato, N. Kawamura, and H. Tokumaru, Jpn.. J. Appl. Phys., 46, 3958-3964(2007).
• R. Sato, N. Kawamura, and H. Tokumaru, Appl. Surf. Sci., 254, 7676-7678(2008)
• G. A. de Wijs, and R. A. de Gnoot, Phys. Rev. B, 60, 16463-(1991).
• J. P. Perdew, K. Burke, and M. Emzerhof, Phys. Rev. Lett., 77, 3865-3868.
• M. Gillet, K. Aguir, C. Lemire, E. Gillet, and K. Schierbaum, Thin Solid Films, 467, 239-246(2004).

Terms in the title (4)： 酸素欠損 ,  酸化タングステン ,  電気伝導性 ,  光学