Art

J-GLOBAL ID：201002256635733605   Reference number：10A0030770

Large-Deflection Spiral-Shaped Micromirror Actuator

大たわみ螺旋形状マイクロミラーアクチュエータ

Author (4)： SADAT Seid Hossein (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  SADAT Seid Hossein (Univ. Michigan, MI, USA) ,  KAMIYA Daiki (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  HORIE Mikio (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 18  Issue： 6  Page： 1357-1364  Publication year： Dec. 2009 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *MEMS ,  micromachining ,  *microactuator ,  spiral spring ,  optical element ,  optical switch ,  optical switching ,  reflecting mirror ,  manipulator ,  *micromirror ,  micromanipulator ,  robot
Semi thesaurus term： optical switching

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Other optical equipment  (QF05060C)

Terms in the title (4)： たわみ ,  螺旋 ,  マイクロミラー ,  アクチュエータ