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J-GLOBAL ID：201002257397505824   Reference number：10A0839582

Laser Induced Modification in Glasses by CW Laser Backside Irradiation (CW-LBI)-Implantation of Various Metals into Glass-

CWレーザ背面照射法(CW-LBI)によるガラスの内部変質(第5報)-様々な金属のガラス内部への導入-

Author (6)： HIDAI HIROFUMI (東京工大 大学院) ,  YAMAZAKI TAKATO (東京工大 大学院) ,  ITO SHO (東京工大 大学院) ,  HIROMATSU KUNIAKI (東京工大 大学院) ,  HIROMATSU KUNIAKI (旭硝子) ,  TOKURA HITOSHI (東京工大 大学院)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 76  Issue： 8  Page： 933-937  Publication year： Aug. 05, 2010 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *laser beam machining ,  *borosilicate glass ,  *laser irradiation ,  *cw laser ,  particle ,  Platinum ,  *metallic thin film ,  work hardened surface layer ,  *reforming ,  doping ,  film thickness ,  laser output ,  austenitic stainless steel ,  Nickel ,  *metal grain ,  SUS 304

JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Properties,analysis and test of glass  (YC02030Z)

Reference (13)：

• 1) M. Esashi : Encapsulated Micro Mechanical Sensors, Microsystem Technol., 1, (1994) 2.
• 2) X. H. Li, T. Abe and M. Esashi : Deep Reactive Ion Etching of Pyrex Glass Using SF₆ Plasma, Sensors Actuators A, 87, 3 (2001) 139.
• 3) C. W. Lin, C. P. Hsu, H. A. Yang, W. C. Wang and W. Fang : Implementation of Silicon-on-glass MEMS Devices with Embedded Through-wafer Silicon Vias Using the Glass Reflow Process for Wafer-level Packaging and 3D Chip Integration, J. Micromech. Microeng., 18, 2 (2008).
• 4) D. P. Chen, H. Miyoshi, T. Akai and T. Yazawa : Colorless Transparent Fluorescence Material : Sintered Porous Glass Containing Rare-earth and Transition-metal Ions, Appl. Phys. Lett., 86, 23 (2005).
• 5) B. Pantchev and Z. Nikolov : Characterization of Refractive-Index Profiles in Silver-Sodium Ion-Exchanged Glass Wave-Guides for Homogeneous Refracting Wave-Guide Structures, IEEE J. Quantum Electron., 29, 9 (1993) 2459.

Terms in the title (5)： CWレーザ ,  背面 ,  CW ,  ガラス ,  変質