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J-GLOBAL ID：201002286520813490   Reference number：10A0843393

Experimental Analysis and Characterization on Thermal Imprint Process via In-situ Observation

可視化観察による熱インプリントプロセスの特徴把握と実験的考察

Author (3)： SAITO TAKUSHI (東京工業大学) ,  KAWAGUCHI TATSUYA (東京工業大学) ,  SATO ISAO (東京工業大学)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 130  Issue： 8  Page： 356-362 (J-STAGE)  Publication year： 2010 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *visualization ,  *compression forming ,  *lithography ,  *thermoplastic ,  *in situ observation ,  *transcription ,  *pattern formation ,  nanostructure ,  mass production ,  real time processing ,  Polymethyl Methacrylate ,  differential scanning calorimetry ,  exfoliation ,  filling ,  silicon ,  substrate (plate) ,  adhesive force ,  thermal contraction ,  glass transition point
Semi thesaurus term： thermoplastics

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (17)：

• 松井真二. ナノインプリントの開発と応用. 2005
• 谷口淳. はじめてのナノインプリント技術. 2005
• 平井義彦編集. ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開. 2006
• CHOU, S. Y. Imprint of Sub-25 nm vias and Trenches in Polymers. Applied Physics Letters. 1995, 67, 3114-3116
• SCHIFTA, H. Nanostructuring of Polymers and Fabrication of Interdigitated Electrodes by Hot Embossing Lithography. Microelectronic Engineering. 1999, 46, 1-4, 121-124

Terms in the title (6)： 可視化 ,  観察 ,  熱インプリント ,  プロセス ,  把握 ,  実験