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J-GLOBAL ID：201002293410179113   Reference number：10A0366280

Evaluation of Electron Energy Distribution Function in Microwave Discharge Plasmas by Spectroscopic Diagnostics with Collisional Radiative Model

衝突放射模型での分光法的診断によるマイクロ波放射プラズマ中の電子エネルギー分布関数の評価

Author (4)： MIZUOCHI Jun (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  SAKAMOTO Takeshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  MATSUURA Haruaki (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  AKATSUKA Hiroshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 49  Issue： 3,Issue 1  Page： 036001.1-036001.14  Publication year： Mar. 25, 2010 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *radiation ,  *spectroscopy ,  *Electromagnetic Radiation ,  *plasma ,  *distribution function ,  *excited state ,  *Langmuir probe ,  *collision ,  Argon ,  Helium ,  microwave radiation ,  electron energy distribution function
Semi thesaurus term： spectroscopy ,  Langmuir probe ,  衝突放射模型

JST classification (1)： Scattering of electrons by atomes  (BH04030F)

Reference (29)：

• T. Fujimoto: Plasma Spectroscopy (Oxford Science, Oxford, U. K., 2004).
• J. Vléek: J. Phys. D 22(1989)623.
• A. Bogaerts, R. Gijbels, and J. Vlček: J. Appl. Phys.84(1998)121.
• L. L. Alves, G. Gousset, and C. M. Ferreira: J. Phys. D 25(1992)1713.
• A. Böhle and U. Kortshagen: Plasma Sources Sci. Technol.3(1994)80.

Terms in the title (9)： 衝突 ,  放射 ,  模型 ,  分光法 ,  診断 ,  マイクロ波放射 ,  プラズマ ,  電子エネルギー分布関数 ,  評価